第43章 工厂就位,流片进行中_科技无垠
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第43章 工厂就位,流片进行中

  跟实验室的感觉不一样吧?

  三天后,工厂的各项工作已经准备就绪,对生产设备场刻仪的改造也已经完成,程旭也是带着自己的九位学生来到了位于华州东南方向的机场空港新区的工厂。

  嗯。九个人异口同声的点了点头。

  现在的工厂由于eda尚未就位,很多操作需要手动设置参数,我今天的任务十分繁重,一会儿可能顾不上你们。

  程旭交代道:你们今天的任务就是观察工厂生产的整个过程,并分门别类的整理好所有的流程和环节

  目的也很简单,把它融入到eda的设计当中去。好了,换上你们的防静电服,各自找好自己的位置。

  看着眼前,仅仅用了十五天就拔地而起的一大片工厂区域,程旭也是一脸的感慨,科技的力量真强大,嗯,还得致敬一直奋斗在这里的土木老哥。

  工厂的第一批员工都是来自千寻科技的玉虚芯科技,虽然玉虚芯科技是一家芯片设计而非生产企业,但芯片设计企业也是要参与流片的整个过程的。

  这些人至少对半导体芯片的流片是有一定经验的,至于荷泵芯片的生产,那不用说了,没有人有经验,就算是程旭自己,也只是在实验室的生产过程有一些经验。

  但实验室的生产过程,与真正的工厂流片,那可是相去甚远。

  你们也都知道,这是一个全新的过程,而且现在没有完全自动化工具的支撑。

  程旭第一件事儿,就是给一线的这些技术人员讲解操作手册和注意事项:

  就算是半自动化的程序,也是这几天才改造完成的,所以,大家的任务都很重。

  一会儿分配任务,每个人一定快速的记住自己要做什么,参数怎么设置,到哪一个步骤了,怎么调整。

  相关的册子已经在你们手里了,每个人手里都只有自己的部分,内容不多,相信对于在座的各位工程师来说,完全不会是问题。

  在座的工程师们,年龄小的也都有三十多岁了,年龄大的,四五十岁的都有,看着这么一个小年轻来给自己讲解,心里也是觉得有点儿怪怪的。

  倒不是他们有什么瞧不上程旭的心思,他们既然选择来到这里,就肯定对荷泵这个体系做过提前的了解。

  就算不了解,千寻科技的这种既送钱送厂又送人的态度,这么殷勤,还不够能说明问题吗?

  他们只是觉得,长江后浪推前浪,自己是不是这就要被拍在沙滩上了?

  新事物的出现,意味着新机遇,这是他们选择来到这里的目的。但是,四五十岁的年纪还能跟得上新事物的发展吗?

  直到拿着自己的册子,穿好静电服来到产线的设备前,很多人心里还在寻思:

  是直接被后浪拍在沙滩上,还是借着这个势头直接腾飞,那就看今天这一下了。

  其实每一个过程都非常简单,程旭看着有些沉闷的这些人,也是出声安慰道:

  比晶圆工厂简单。这第一步,叫覆板,你可以把它等同为半导体芯片生产过程当中的晶圆切片和打磨工作,过程是一样的,而且要求都差不多。只不过,晶圆片是半导体生产的基底,最终电路是刻画在晶圆片上的,但荷泵不一样,荷泵的电路逻辑实在一种特殊的导电胶上。

  这个覆板的这个板呐,只是在场刻过程当中起到一个支撑的作用,另外其中的一些隐含电路纹路是起到划域的作用的。

  记住了没?程旭看每个人都安安静静的在听,也是问了一句。

  嗯,晶圆切片。一名约莫四十岁的工程师,名叫沈钟,他中气十足的说道。

  也行吧,你先这么理解,问题也不大。程旭没有纠正沈钟的话,反正流程差不多,不影响。

  那下一步是不是就该涂胶了?沈钟直接举一反三,开口问道。

  咦,沈工,可以啊,程旭倒是稀罕了,他还没讲呢,这都知道了:这你都提前知道了?

  半导体晶圆厂就是这样,下边该涂光刻胶了。沈钟现在自信的很,他在玉虚芯科技就是负责跟晶圆工厂的对接,流片生产这一套流程他熟得很。

  对,没错。程旭笑着解释道:

  下一步确实是涂胶,但这不是光刻胶,这几个胶略微固化以后,就是我们未来的芯片,它是主材,而不是生产辅助材料。

  不过,你们把这个过程就当做涂光刻胶来理解也没有任何问题,但要注意,这一步的操作要比涂光刻胶要求更高,参数都在册子上,切记。

  沈钟顿时得意了,这自己都懂啊,无压力。

  下一个步骤

  曝光,光刻!程旭还没开口呢,几个人就喊开了,可惜,这次错了。

  程旭看着这些人的工作气氛,心里也是十分舒服——这些人闹归闹,做事儿还是非常严谨认真的。

  下一个步骤,跟半导体芯片的生产过程就完全不同了。

  程旭这话一出,一群人顿时安静下来,屏气凝神的听着:我们没有光刻过程,电路也不是刻画在晶圆片上的。

  而是用场刻仪这个设备,通过调节不同狭域内的场强度来刻画到胶体上,整个过程持续的时间要比光刻过程长。

  你们都知道,光刻过程,现在的duv光刻机一般十二秒,而场刻映射这个过程,每一次参数调节需要持续八秒。

  但每一次生产过程,都需要若干次的参数调节,具体几次,怎么调节,需要根据机器的反馈,而这整体过程下来大约需要五分钟左右的时间。

  当然,这是目前手动半自动的这个版本,以后肯定会更新改进,全自动程旭的话,那速度就能立即提上来。

  而场刻过程之后呢,我们就需要利用升高温度的方式来进行一次微烘烤然后切割脱板二次升温培育处理

  实验室的九个人一丝不苟的记录着每一个步骤,并暗自在考虑,这些个生产过程怎么与自动化工具eda相结合,怎么与先期的芯片设计工作相结合。

  而原本还有些得意的沈钟这个时候则是傻了眼,刚刚还全都懂呢,这一会儿自己就完全懵逼了——这都哪儿跟哪儿啊!

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